10月17日，記者從正在深圳舉行的2025灣區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)博覽會(huì)上獲悉，作為國家專精特新重點(diǎn)“小巨人”企業(yè)，深圳市恒運(yùn)昌真空技術(shù)股份有限公司攜射頻電源、匹配器與阻抗調(diào)整器等系列產(chǎn)品亮相，對外展示了自主研發(fā)的最新技術(shù)成果。在同期舉行的2025年度灣芯獎(jiǎng)?lì)C獎(jiǎng)盛典上，恒運(yùn)昌憑借其在半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件領(lǐng)域的技術(shù)突破與卓越表現(xiàn)，榮獲第六屆“IC 創(chuàng)新獎(jiǎng)”技術(shù)創(chuàng)新獎(jiǎng)。

“半導(dǎo)體制造中，等離子體射頻電源系統(tǒng)長期被國外巨頭壟斷。這個(gè)細(xì)分領(lǐng)域技術(shù)壁壘高，涉及多學(xué)科交叉，研發(fā)周期長，且對產(chǎn)品一致性和穩(wěn)定性要求極為嚴(yán)苛。”深圳市恒運(yùn)昌真空技術(shù)股份有限公司董事長樂衛(wèi)平表示，利用低溫等離子體進(jìn)行薄膜沉積、刻蝕、離子注入等，空間尺度和時(shí)間尺度跨度相當(dāng)大，需要在直徑300毫米的晶圓上進(jìn)行以埃為單位的微加工，時(shí)間尺度上從電子響應(yīng)時(shí)間的納秒級別一直到單種工藝的宏觀分鐘級別，技術(shù)挑戰(zhàn)難度很大。更棘手的是，射頻電源系統(tǒng)的負(fù)載是等離子體，這是一個(gè)始終處于動(dòng)態(tài)變化的非線性系統(tǒng)。為此，恒運(yùn)昌選擇了一條與眾不同的發(fā)展路徑，從底層技術(shù)入手構(gòu)建自主技術(shù)體系。

經(jīng)過十余年的持續(xù)研發(fā)創(chuàng)新和核心技術(shù)攻關(guān)，恒運(yùn)昌構(gòu)建了涵蓋信號采樣及處理、相位鎖定、同步控制、快速調(diào)頻、脈沖控制等在內(nèi)的等離子體射頻電源系統(tǒng)運(yùn)行中的關(guān)鍵技術(shù)體系，形成三大基石技術(shù)和八大產(chǎn)品化支撐技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了核心技術(shù)的完全自主可控。推出的CSL、Bestda、Aspen三代產(chǎn)品系列，響應(yīng)了半導(dǎo)體芯片制造工藝中對等離子體射頻電源系統(tǒng)“快、準(zhǔn)、穩(wěn)”的核心需求，研制出全數(shù)字化、高精度、高穩(wěn)定性等離子體射頻電源系統(tǒng)，為半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件國產(chǎn)化之路鋪設(shè)基石。

據(jù)介紹，該公司參與制定的多項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)正在推動(dòng)整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈的技術(shù)進(jìn)步。面對未來，恒運(yùn)昌已提前布局更前沿的技術(shù)領(lǐng)域，將大數(shù)據(jù)和人工智能成果與射頻電源系統(tǒng)產(chǎn)品相結(jié)合，促進(jìn)射頻電源設(shè)計(jì)技術(shù)快速迭代。

樂衛(wèi)平表示，恒運(yùn)昌將繼續(xù)搶抓半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化的歷史機(jī)遇，持續(xù)開展核心技術(shù)攻關(guān)，豐富產(chǎn)品種類、提高技術(shù)先進(jìn)性，助力國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵零部件的全面自主可控。